| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Evento (Conference Proceedings) |
| Site | mtc-m16d.sid.inpe.br |
| Identificador | 8JMKD3MGPDW34R/483Q2JP |
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m16d/2022/11.22.16.29 |
| Última Atualização | 2022:11.22.16.29.34 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m16d/2022/11.22.16.29.35 |
| Última Atualização dos Metadados | 2022:12.06.20.00.17 (UTC) administrator |
| ISSN | 2177-3114 |
| Chave de Citação | HortaPereLeit:2022:DeChAl |
| Título | Deposition and characterization of AlGaN films produced using reactive magnetron sputtering  |
| Formato | On-line. |
| Ano | 2022 |
| Data de Acesso | 20 set. 2024 |
| Tipo Secundário | PRE CN EXT |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 451 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Horta, Isabela Machado 2 Pereira, André Luís de Jesus 3 Leite, Douglas Marcel Gonçalves |
| Afiliação | 1 Instituto Tecnológico da Aeronáutica (ITA) 2 Instituto Tecnológico da Aeronáutica (ITA) 3 Instituto Tecnológico da Aeronáutica (ITA) |
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 ihorta@ita.br |
| Editor | Mendes, Camila Porto Ciriaco, Deborah Mascaroz |
| Nome do Evento | Workshop em Engenharia e Tecnologia Espaciais, 13 (WETE) |
| Localização do Evento | São José dos Campos |
| Data | 16, 17 e 18 nov. 2022 |
| Editora (Publisher) | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Cidade da Editora | São José dos Campos |
| Tipo Terciário | full paper |
| Organização | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Histórico (UTC) | 2022-11-22 16:30:04 :: simone -> administrator :: 2022 2022-12-06 20:00:17 :: administrator -> simone :: 2022 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Palavras-Chave | AlGaN Sputtering Characterization Films Semiconductor |
| Resumo | This work reports the deposition and characterization of sputtered AlxGa1-xN films on Si (100) substrates with different compositions. The main objective is to study the effect of the composition on the structural quality and c-axis orientation of the films, which is desirable for application in surface acoustic wave sensors. The samples were produced using different powers applied on individual Al and Ga targets in order to vary the composition, and the Al molar fraction was in the range 0 ≤ x ≤ 0.47. The other deposition parameters were kept fixed. Samples were characterized using energy dispersive spectroscopy, optical profilometry and X-ray diffraction. Results showed a strong correlation between the films properties and the composition, but also an influence of the thickness of the samples. All samples showed wurtzite structure and the c-axis orientation increased with the Al molar fraction. |
| Área | ETES |
| Tipo | CMS |
| Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > WETEs > 13º WETE - Artigos > Deposition and characterization... |
| Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção a partir de 2021 > CGCE > 13º WETE - Artigos > Deposition and characterization... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGPDW34R/483Q2JP |
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGPDW34R/483Q2JP |
| Idioma | pt |
| Arquivo Alvo | Código 33 [Isabela Horta] -Deposition and characterization of AlGaN films .pdf |
| Grupo de Usuários | simone |
| Grupo de Leitores | administrator italo.rodrigues@inpe.br simone |
| Visibilidade | shown |
| Licença de Direitos Autorais | urlib.net/www/2012/11.12.15.19 |
| Detentor dos Direitos | originalauthor yes |
| Permissão de Leitura | allow from all |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Repositório Espelho | urlib.net/www/2011/03.29.20.55 |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPDW34P/485A355 |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/mtc-m16c/2022/12.01.19.17 7 |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m19@80/2009/08.21.17.02 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | archivingpolicy archivist booktitle callnumber contenttype copyholder creatorhistory descriptionlevel dissemination documentstage doi e-mailaddress edition group holdercode isbn label lineage mark nextedition notes numberofvolumes orcid pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project resumeid schedulinginformation secondarydate secondarykey secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark url versiontype volume |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | simone |
| atualizar | |